| 技术参数 | HiPace 300 H，搭配 TC 110 |
|---|---|
| 氢气抽速 | 220 l/s |
| 氦气抽速 | 255 l/s |
| 氩气抽速 | 255 l/s |
| 氮气抽速 | 260 l/s |
| 氢气压缩比 | 1 · 10⁷ |
| 氦气压缩比 | 2.5 · 10⁹ |
| 氩气压缩比 | 1 · 10¹³ |
| 氮气压缩比 | 1 · 10¹³ |
| 最终转速下的氢气气体流量 | 10 hPa l/s |
| 最终转速下的氦气气体流量 | 3.5 hPa l/s |
| 最终转速下的氩气气体流量 | 0.5 hPa l/s |
| 最终转速下的氮气气体流量 | 1.5 hPa l/s |
| 适用于氮气的最大前级真空 | 30 hPa |
| 启动时间 | 3.5 最小 |
| 可选通信接口 | Profibus、Devicenet、Semi E74 |
| 标准通信接口 | RS-485，远程 |
| 安装方向 | 任意 |
| 声压级（EN ISO 2151） | 50 dBA |
| 重量（约） | 6.2 kg |
| 进气口 | DN 100 ISO-K/ISO-F/CF-F |
| 排气口 | DN 16 ISO-KF /G 1/4" |
