| 技术参数 | HiPace 800 M，搭配 TM 700 |
|---|---|
| 氢气抽速 | 500 l/s |
| 氦气抽速 | 625 l/s |
| 氩气抽速 | 775 l/s |
| 氮气抽速 | 790 l/s |
| 氢气压缩比 | 2 · 10⁵ |
| 氦气压缩比 | 1 · 10⁷ |
| 氩气压缩比 | 1 · 10¹¹ |
| 氮气压缩比 | 1 · 10¹¹ |
| 最终转速下的氩气气体流量 | 8 hPa l/s |
| 最终转速下的氮气气体流量 | 13 hPa l/s |
| 0.1 hPa HV 压力下氢气的气体流量 | 9 hPa l/s |
| 0.1 hPa HV 压力下氦气的气体流量 | 16 hPa l/s |
| 0.1 hPa HV 压力下氮气的气体流量 | 16 hPa l/s |
| 适用于氮气的最大前级真空 | 8 hPa |
| 启动时间 | 4 最小 |
| 可选通信接口 | Profibus、Profinet、Ethercat、Semi E74 |
| 标准通信接口 | RS-485，远程 |
| 安装方向 | 任意 |
| 声压级（EN ISO 2151） | 45 dBA |
| 重量（约） | 17.2 kg |
| 进气口 | DN 200 ISO-K/ISO-F/CF-F |
| 排气口 | DN 25 ISO-KF /G 1/4" |
