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山金现货 LINTEC琳得科 MC-3000L 高性能数字质量流量控制器

高性能数字质量流量控制器
高性能数字质量流量控制器，保证±1% SP。

Lintec独特的环境温度补偿传感器即使在低温下也能实现高精度的流量测量。它最大限度地减少了传感器随时间推移因热引起的性能下降，即使使用臭氧等易分解气体也能控制流量。

这款高性能、全方位数字质量流量控制器提供液化气体、分钟流量 FS、宽范围以及面对面尺寸和配件规格等选项。

高性能质量流量控制器 [MC-3000L]
高性能质量流量控制器
特征
精度±1%SP
工作温度 5-50℃
金属密封件
洁净（保证无颗粒）
环境温度补偿传感器
RS-485通信
选项
微流控FS
液化气兼容
范围广泛

所属分类：
LINTEC琳得科
发布时间： 2026-06-16

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详细介绍

使用示例

半导体制造前端工艺

由于 CVD（化学气相沉积）ALD 薄膜沉积和蚀刻设备中使用了高活性气体，因此具有高耐腐蚀金属密封的气体质量流量控制器是必不可少的。

此外，许多前驱体中含有在常温常压下呈液态的气体，因此高耐热性和抗再液化的阀门结构至关重要。MC-3000L 高精度质量流量控制器提供处理液化气体的选项，最高工作温度为 50°C（选配后可达 55°C）。

分析器

分析仪器通常需要精确控制极低的流速，而普通质量流量控制器的最小流量 (FS) 为 5 SCCM，无法满足如此低的流速控制需求。高精度质量流量控制器 MC-3000L 可选配 FS 低至 1 SCCM 或更低的规格。详情请联系我们。

此外，MC-3000L 高精度质量流量控制器标配一个死容积较小的隔膜阀。

规格

_温度	_最小压差	_最大压差	_准确性	_控制范围	_{最低文件系统}	_{最大 FS}	_海豹
_5-50℃	_50千帕	_300千帕	_±1%SP	_{2-100% FS}	_5SCCM	_400SLM	_奥