高温质量流量控制器，可在流量控制最高温度为 120°C、非通电最高温度为 150°C 的环境中使用。
通过将发热的气体接触部分与热敏基板部分分离，可以实现高温下的气体控制。
该模块采用SUS-316L不锈钢，密封材料采用金，使其能够抵抗腐蚀性气体。
可选功能包括低压差规格，以防止液化气体再次液化，以及用于 MFC 的专用加热块，用于加热与气体接触的部件。
![高温质量流量控制器[MC-3000L-TC]产品图片](https://lintec-mfc.co.jp/wp-content/uploads/2019/03/MC-3000L-TC.jpg.webp)
[MC-3000L-TC]
特征
- 工作温度最高120℃
- 金属密封件
- 洁净（保证无颗粒）
- RS-485通信
选项
- 液化气兼容
- 加热块
高温质量流量控制器，可在流量控制最高温度为 120°C、非通电最高温度为 150°C 的环境中使用。
通过将发热的气体接触部分与热敏基板部分分离，可以实现高温下的气体控制。
该模块采用SUS-316L不锈钢，密封材料采用金，使其能够抵抗腐蚀性气体。
可选功能包括低压差规格，以防止液化气体再次液化，以及用于 MFC 的专用加热块，用于加热与气体接触的部件。
