使用示例
低温下低蒸气压气体的流量控制
MC-3000S 是一款低压差质量流量控制器，凭借其独特的低压损结构，即使在室温下，只要二次侧处于真空状态，也能控制水等液态原料的流量。它适用于诸如 ITO 溅射等需要将少量水蒸气送入真空腔的应用。此外，它还能在室温下控制低蒸气压固体原料（例如 XeF2）的流量。

真空罐式容器（SDS容器）的流量控制
离子注入机使用AsH3和PH3等特殊​​材料气体，为确保安全稳定的供应，通常采用安全输送源（SDS）容器进行供应。SDS的充装压力低于大气压，因此需要一种能够在低压差下进行流量控制的流量控制器（MFC）。MC-3000S凭借其独特的低压损结构，能够在低至800 Pa（6 Torr）的压差下控制流量。

规格
温度 最小压差 最大压差 准确性 控制范围 最低文件系统 最大 FS 海豹
5~50℃ 800 帕 133千帕 ±1%FS
2-100% FS
2SCCM 30 SCCM 奥
*所示规格为标准质量流量控制器规格，　可选配置可更改。