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日本 LINTEC琳得科 MC-5000C 高性能质量流量控制器

EtherCAT 质量流量控制器
用于 EtherCAT 通信的高性能质量流量控制器。

这是一款用于半导体工艺的高性能质量流量控制器，采用 EtherCAT 通信版本。它符合 SEMI 标准，并可通过 EtherCAT 通信进行控制，EtherCAT 通信是半导体制造设备中高速传输系统常用的通信方式。

它标配半导体制造工艺所需的金属密封件和 Lintec 独特的环境温度补偿流量传感器，并可选配液化气体兼容性和其他功能。

EtherCAT 质量流量控制器
　　　　　　　　 MC-5000C
特征
精度±1%SP
金属密封件
洁净（保证无颗粒）
环境温度保证传感器
EtherCAT 通信
选项
微流控FS
液化气兼容
范围广泛

所属分类：
LINTEC琳得科
发布时间： 2026-06-16

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详细介绍

使用示例

统一的 EtherCAT 通信设备

越来越多的半导体制造设备采用 EtherCAT 通信（数字接口）来实现对机器人手臂等运输系统的高速控制。EtherCAT 通信拥有 65,536 个节点，能够将 MFC（多功能循环）系统中所有测量和运动系统元件统一起来。

规格

_温度	_最小压差	_最大压差	_准确性	_控制范围	_{最低文件系统}	_{最大 FS}	_海豹
_15~35℃	_50千帕	_300千帕	_±1%SP	_{2-100% FS}	_{10 SCCM}	_300SLM	_奥