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原厂 LINTEC琳得科 MC-5000L 质量流量控制器

DeviceNet 质量流量控制器
支持DeviceNet通信的质量流量控制器。

最新半导体制造设备中安装的控制设备越来越多地采用开放式现场通信而不是模拟控制，目的是实现高速控制并简化布线。

Lintec率先
开发了MC-5000L，这是一款符合SEMI标准的DeviceNet™通信质量流量控制器。它采用半导体制造所需的金属密封件和独特的环境温度补偿式流量传感器。此外，还提供多种可选功能，包括液化气体兼容性。

DeviceNet 质量流量控制器
　　　　　　　　　MC-5000L
特征
精度±1%SP
工作温度 5-50℃
金属密封件
洁净（保证无颗粒）
环境温度保证传感器
DeviceNet™ 通信
选项
微流控FS
液化气兼容
范围广泛

所属分类：
LINTEC琳得科
发布时间： 2026-06-16

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详细介绍

使用示例

简化接线

在半导体设备领域，现场网络控制的重要性日益凸显。专用于DeviceNet通信的MFC（MC-5000L）无需AD/DA转换器和I/O板，从而降低了成本并减少了布线。

规格

_温度	_最小压差	_最大压差	_准确性	_控制范围	_{最低文件系统}	_{最大 FS}	_海豹
_5~50℃	_50千帕	_300千帕	_±1%SP	_{2-100% FS}	_5SCCM	_200SLM	_奥