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进口 LINTEC琳得科 MC-7000 高速响应质量流量控制器

高速响应质量流量控制器
响应时间为 200 毫秒的超快速质量流量控制器。

热式传感器可在100毫秒内（典型值）实现高速流量控制。Lintec独特的非接触式热式流量传感器和压电控制阀可实现腐蚀性气体的超高速流量控制。

流量精度高达±1.0% SP，数字通信方式可选择DeviceNet和EtherCAT。

　　　　　　MC-7000
特征
超高速流量控制 200 毫秒
精度±1%SP
工作温度 5-50℃
金属密封件
洁净（保证无颗粒）
环境温度补偿传感器
EtherCAT 通信
DeviceNet™ 通信

所属分类：
LINTEC琳得科
发布时间： 2026-06-16

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详细介绍

使用示例

高速蚀刻工艺

在半导体制造工艺中，对提高产能和小型化的需求日益增长。在用于控制反应气体流量的质量流量控制器中，对更短的流量控制启动时间的需求也日益迫切。超高速质量流量控制器[MC-7000]是一款非接触式热流量传感器，其流量传感器与被测气体之间无需接触，即可实现200毫秒的超快响应速度。由于采用非接触式设计，它能够实现对腐蚀性气体流量的高速流量控制测量。