实验设备和原型通常需要控制多种气体并改变流量范围,因此需要多个质量流量控制器。MC-700 系列质量流量控制器是理想的选择,因为它标配 VR 功能,可以改变气体类型和流量,使其能够在单个单元内处理多种规格,同时降低成本。此外,它采用 SUS-316L 不锈钢密封件,使其适用于高腐蚀性气体。
根据应用场景的不同,可能需要备有多种不同气体类型和流量范围的质量流量控制器作为备用。然而,配备可变流量 (VR) 功能的 MC-700 仅需一台设备即可处理多种气体类型(包括腐蚀性气体)和多种流量范围,使其适用于各种应用。此外,质量流量控制器的标准化也有助于减少所需的备件数量。
| 温度 | 最小压差 | 最大压差 | 准确性 | 控制范围 | 最低文件系统 | 最大 FS |
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| 15~35℃ | 50千帕 | 300千帕 | ±1%FS | 2-100% FS | 10 SCCM | 50SLM |
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