在溅射等物理气相沉积(PVD)设备中,氩气(Ar)是一种稳定性好、不易发生化学反应的气体,通常用作惰性气体。当需要使用质量流量控制器(MFC)控制氩气等惰性气体的流量时,建议使用低成本的质量流量控制器(MC-10RC)以降低成本。
对于不会腐蚀密封材料树脂的气体流量控制,推荐使用低成本的MFC MC-10RC。此外,借助可选的VR功能,可以在线切换气体类型和流量范围。该产品是简单实验和分析设备的理想之选。
| 温度 | 最小压差 | 最大压差 | 准确性 | 控制范围 | 最低文件系统 | 最大 FS | |
| 15~35℃ | 50千帕 | 300千帕 | ±1%FS | 2-100% FS | 10 SCCM | 150SLM |
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