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供货 LINTEC琳得科臭氧质量流量控制器 OZ-1

臭氧质量流量控制器 OZ-1
臭氧气体运行质量流量控制器，保修一年。

该臭氧气体质量流量控制器利用Lintec 独特的环境温度补偿传感器，实现了对易发生热分解的臭氧气体的高效流量控制。

即使长期控制臭氧气体流量，臭氧气体浓度也保持不变。（根据我们的研究）

特征
可以控制臭氧气体的流量。
精度±1% SP（校准气体）
洁净（保证无颗粒）
环境温度补偿传感器
EtherCAT 通信、DeviceNet 通信
选项
低压差兼容
范围广泛

所属分类：
LINTEC琳得科
发布时间： 2026-06-16

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详细介绍

使用示例

臭氧发生器产生的臭氧被分配到多个臭氧 CVD 和清洗设备。

由于臭氧具有强腐蚀性，且其流量无法通过质量流量控制器（MFC）控制，传统上，臭氧发生器的数量与臭氧需求点的数量相等。然而，通过使用OZ-1臭氧气体质量流量控制器来控制流量，该控制器可在流量测量过程中抑制热分解，从而可以使用单个臭氧发生器向多个需求点供应臭氧。

规格

_温度	_最小压差	_最大压差	_准确性	_控制范围	_{最低文件系统}	_{最大 FS}
_5-50℃	_50千帕	_300千帕	_±1%SP	_{2-100% FS}	_{10 SCCM}	_50SLM