安装在高性能质量流量控制器中的流量控制阀。

阀门开度可通过0-5V的外部信号进行调节。该控制阀配备压电执行器，可实现对气体流量和压力的高速控制。

SUS-316L 块体和 Au 密封件可以调节腐蚀性气体的流量。

CV-3000

特征

选项

使用示例

压力控制阀

许多实验和制造过程中都需要保持恒定的腔室压力。通过将压力表、PID控制器和CV-3000结合使用，可以实现压力控制。

规格

温度 最小压差 最大压差 最大流量 海豹 响应时间
0-50℃ 50千帕 300千帕 10SLM 奥 0.5秒或更短