一种小型液体汽化器，流量极小，配有压电阀。

压电致动器能够对微小流量进行高速、高精度控制，直接安装在汽化室旁边。该结构的死体积极小。

一种紧凑型汽化器，TEOS流量为7克/分钟，H2O流量为0.5克/分钟。通过将载气（最大流速14SLM）与流量可控的液体混合，并将其引入汽化室，即可实现稳定的供应。

小型雾化器
VU-206

特征

使用示例

真空和大气压条件下的低流量汽化

其紧凑的机身即使在连续的微量流速下也能实现精确的流动汽化。无论二次压力条件如何，它都能实现稳定的低流量汽化。

TEOS、TEB、TEPO 汽化供应

多种液体的连续汽化

除了广泛应用于半导体制造工艺的TEOS之外，该设备还可以供应多种液体，例如TEB和TEPO。此外，通过串联多个汽化器，可以同时汽化和供应多种液体。

规格

最高温度 载气流量 最大水汽化流量 TEOS最大汽化流量 海豹
160℃ 0.1~14SLM 0.5克/分钟 7克/分钟 奥