一种采用双流体喷嘴系统的高效汽化器，该系统由液体喷嘴和载气喷嘴组成。
两个流体喷嘴，一个用于液体，另一个用于载气（0.05-4 SLM），在汽化室前汇合，将液体雾化成细雾。然后，这种雾化的液体可以通过辐射热高效汽化。
位于汽化室顶部的液体控制阀接收来自液体质量流量计（LM-3000L）的流量信号，并调节阀门开度。通过控制流量，可以实现稳定的汽化液供应。
特征
使用示例
低蒸气压物质的汽化
该系统采用耐热结构，可承受高达 200°C 的温度，并配备双流体喷嘴，即使对于低蒸汽压材料（例如低介电常数材料、高介电常数材料以及各种金属），也能实现高效稳定的液体汽化和供应。通过将加热块的温度控制装置分别置于侧面和底部，可以实现精确的温度控制，即使对于易发生热变形的材料，也能进行精细的温度管理。
规格
| 最高温度 | 载气流量 | 最大水汽化流量 | TEOS最大汽化流量 | |
| 200℃ | 0.05~4SLM | 1.0 克/分钟 | 10克/分钟 |
