一种高效汽化器,采用双流体喷嘴和大汽化室,实现高流量的高效汽化。
采用双流体喷嘴系统(包含液体喷嘴和载气喷嘴,流量范围为0.8-180 SLM)实现高效汽化。与VU-430相比,通过增加汽化室容积,改善了对流时间和换热面积,从而实现了高流量汽化。
由于它是一款集成阀门的汽化器,因此与LM-3000L配合使用时,可以直接在汽化器处控制液体流量。可实现高度灵敏的汽化流量控制。

特征
使用示例
高流量汽化
通过扩大汽化室,从中央双流体喷嘴喷出的雾滴比 VU-430 扩散得更广。TEOS 可实现 20g/min 的稳定高流量汽化,H2O 可实现 5g/min 的稳定高流量汽化。
规格
| 最高温度 | 载气流量 | 最大水汽化流量 | TEOS最大汽化流量 | |
| 200℃ | 0.8~130 SLM | 5克/分钟 | 20克/分钟 |