高温高效汽化器，最高工作温度为 300°C。

一种高效汽化器，采用由液体喷嘴和载气喷嘴组成的双流体喷嘴系统（0.8-180 SLM）。

由于采用了金属密封和耐热结构，即使在最高 300°C 的工作温度下也能实现汽化。

它配备多个液体控制阀，可同时控制和汽化多种液体，包括原料液体、稀释剂和清洗液。

高温高效汽化器 VU-550

特征

选项

使用示例

高沸点液体的汽化

它采用双流体喷嘴和耐热结构，最高加热温度可达 300°C，是汽化高沸点、低蒸汽压液体材料（如低 K 值、高 K 值和各种金属）的理想选择。

也可以通过在汽化室旁边直接安装多个液体控制阀，交替或同时汽化原料液体、稀释剂、溶剂等。

规格

最高温度 载气流量 水的最大汽化速率 TEOS最大汽化速率  
300℃ 0.8~130 SLM 5克/分钟 20克/分钟