一种结构紧凑、无需载体的汽化器，配备压电致动器。
压电执行器控制阀能够精确控制微小的流量并实现高速响应，直接在汽化室前面控制液体流量。
以可控流速将液体扩散通过网状过滤器，并在汽化室中加热，即使在极低的流速下也能实现稳定的汽化。
VU-3100
特征
使用示例
TEOS非载体汽化
基于高温MFC的无载体汽化技术存在汽化量低的缺点。Lintec独特的无载体结构VU-3100结构紧凑，却能以5克/分钟（538标准立方厘米/分钟）的速率供应TEOS无载体蒸汽。
规格
| 最高温度 | 所需压差 | TEOS最大汽化流量 | |
| 150℃ | 50-300千帕 | 5克/分钟 |
