VU-3000 是一款清洁的、无需载气的汽化器。

液体在流速控制下，通过汽化室入口处的网状过滤器进行扩散。即使没有载体，也能确保稳定的液体汽化供应。

汽化器最高温度可设定为 200°C，可实现各种液态原料（包括 H2O）的无载体汽化和供应。

无载体汽化VU-3000

特征

使用示例

灰化、清洁

水（H₂O）常用于灰化（氧化）等清洁工艺，但通常情况下，不使用载体供应水需要采用高温质量流量控制器进行烘烤。然而，烘烤法在二次压力条件和供应量方面存在局限性。无论二次压力条件如何，水都可以在不使用载体的情况下以 5 g/min (6.2 SLM) 的流速供应。

利用H2O气体进行大气压评估

VU-3000 即使在大气压条件下也能瞬间汽化引入汽化器的液态水，通过液体质量流量控制器控制汽化器内的流量，即可精确控制生成的水蒸气量。它可用于评估在大气压条件下使用水蒸气的应用，例如燃料电池。

规格

最高温度 所需压差 最大水汽化流量  
200℃ 250-300千帕 5克/分钟