结构紧凑、体积小巧的燃气加热器，最高加热温度为 200°C。
特征
- 设计紧凑，对面尺寸为 160 毫米，宽度为 55 毫米。
- 将 10 SLM 的 N2 气体加热至 200°C
- 可以在不腐蚀与气体接触的部件（SUS316L）的情况下加热气体。
- 可在真空和压力下使用。
使用示例
ALD和CVD设备的热吹扫
在诸如原子层沉积（ALD）和化学气相沉积（CVD）等真空沉积工艺中，液化气体被广泛应用。然而，使用室温气体进行吹扫会导致气体冷却冷凝，从而造成吹扫不充分。因此，热吹扫是一种有效的解决方案。这款紧凑型气体加热器（HX-0020）的占地面积与微型燃料电池（MFC）相差无几，最高加热温度可达200°C，能够将气体加热至非常接近使用点的位置。这使其成为ALD和CVD等真空沉积设备热吹扫的理想选择。
规格
| 流量（N2转化率） | 压力损失（N2） | 压力阻力（G） | 工作温度 | 气体接触部件的材料 | |
| 规格 | 10SLM | 14千帕 | 1兆帕 | 200℃ | SUS316L |
