一种紧凑型热交换器，能够将 50 SLM 的 N2 加热到 200°C。
特征
- 设计紧凑，尺寸为 158 毫米（对面）x 80 毫米（宽）x 80 毫米（高）。
- 最大流量 50SLM
- 最高工作温度 200℃
- 可以在不腐蚀与气体接触的部件（SUS316L）的情况下加热气体。
- 可在真空和压力下使用。
使用示例
在引入污染控制装置之前，先用稀释的氮气进行加热。
在半导体和FPD制造设备中，排气管路常见的问题是反应气体在到达排气装置之前粘附在管道上造成的堵塞。虽然用热氮气稀释是一种常见的解决方法，但仅仅用加热带从外部加热管道是不够的。小型热交换器（HX-0050A）可以有效地加热流体，最大限度地减少堵塞。
规格
| 流量（N2转化率） | 压力损失（N2） | 压力阻力（G） | 工作温度 | 气体接触部件的材料 | |
| 规格 | 50SLM | 9.8 千帕 | 1兆帕 | 200℃ | SUS316L |
