这款紧凑型高温燃气加热器能够将 250 SLM（相当于 N2）加热到最高 300°C。

特征

  • 设计紧凑，尺寸为 240 毫米（高）x 101 毫米（宽）x 75 毫米（深）。
  • 最大流量 250SLM
  • 最高工作温度 300℃
  • 两台设备并联运行，可达到 300°C 和 500 SLM。
  • 旨在最大限度地减少设定温度与出口气体温度之间的差异。
高温燃气加热器
[HX-0301L]

使用示例

晶圆翘曲校正

晶圆会因薄膜沉积层的堆积而发生翘曲。一种解决方法是使用高温高流量热风进行翘曲校正。高温气体加热器（HX-0301）可通过并联两个单元产生高达300°C的温度和500 SLM的高流量，是校正翘曲的理想选择。

规格

  流量（N2转化率） 压力损失（N2） 压力阻力（G） 工作温度 气体接触部件的材料
规格 250SLM 94千帕 1兆帕 300℃ SUS316L