最大流量为 N2 和 300 SLM 的高流量换热器。
特征
- 最大流量 300SLM
- 最高工作温度 250℃
使用示例
半导体制造过程中使用的干燥机
HX-0300C 能够实现高达 300 SLM 的高流量加热。采用高流量加热气体进行干燥可提高生产效率。此外，由于加热部件不暴露于气体中，因此它非常适合用于对洁净环境要求极高的半导体制造和 FPD 制造工艺。
规格
| 流量（N2转化率） | 压力损失（N2） | 压力阻力（G） | 工作温度 | 气体接触部件的材料 | |
| 规格 | 300SLM | 30千帕 | 1兆帕 | 250℃ | SUS316L |
