一种集成了 0.1μm 滤光片和加热器的高温过滤器。

专为半导体制造工艺中的液化气体应用而设计，所有与气体接触的部件均采用SUS316L不锈钢制成。具有Lintec独特的低压损结构。

特征

  • 0.1µm过滤精度
  • 最高温度200℃
  • 全金属洁净结构
VF-0201N

使用示例

该加热过滤器安装在汽化系统的后部，用于去除可能导致产品缺陷的颗粒和雾气。