这是一个专用于质量流量控制器的运行检查装置,可以与 MFC 一起检查电压状​​态,例如设定电压和输出电压。

此外,它还内置了一个低功耗电压表,可以监测设备发出的信号和 MFC 向设备发送的信号是否正常,从而更容易找出故障原因。

        IM-10

连接示例

该装置连接在质量流量控制器和设备的电源之间,或者连接在质量流量控制器和功率指示/设置单元(RP-310)之间,用于测量和验证各种信号和电压。

测量功能

• 电源电压(±15VDC)

• 流量设定电压(0-5VDC)

• 流速输出电压(0-5VDC)

• 阀门开启/关闭电压(±15VDC)

壳电压