| 电子枪 | 冷阴极场发射电子枪 |
|---|---|
| 加速电压 | 200千伏 |
| 能量过滤器 | 柱内欧米伽过滤器 |
| 样品阶段 | |
|---|---|
| 制冷剂使用 | 液氮,集成式自动液氮供应装置 |
| 样品冷却温度 | 10万或以下 |
| 温度测量位置 | 样品、低温屏蔽罩、液氮罐 |
| 样品转移 | |
| X,Y | 电机驱动(移动范围±1毫米) ,压电元件(移动范围±0.5微米) |
| Z | 电机驱动(移动范围±0.2毫米) |
| X轴倾斜 | 电机驱动(倾斜范围 X 轴倾斜:不可用 [HR] / ± 70° [WG]) |
| 样品的平面内旋转 | 0°或90° |
| 样品交换装置 | 气闸系统, 包含自动控制的低温传输机制。 |
| 样品冷却温度(交换室) | 10.5万美元或以下 |
| 样品更换盒 | 一次最多可更换四个样品。 |
| 示例停车阶段 | 最多可容纳 12 件 |
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