| バージョン | 超高分解能構成 | 高分解能分析構成 |
|---|---|---|
| 対物レンズ ポールピース |
FHP2 | WGP |
| 標準加速電圧 | 300 kVおよび80 kV | |
| 電子銃 | 冷陰極電界放出形電子銃 | |
| STEM分解能 | 300 kV / 80 kV STEMコレクター搭載時 | |
| 53 pm / 96 pm | 59 pm / 111 pm | |
| TEM分解能 | 300 kV / 80 kV TEMコレクター搭載時 | |
| 格子分解能 50 pm / - | 格子分解能 60 pm / - | |
| 非線形情報限界 60 pm / 90 pm |
非線形情報限界 70 pm / 100 pm |
|
| 線形情報限界 90 pm / 160 pm |
線形情報限界 100 pm / 170 pm |
|
| 最大試料傾斜角 | 分析用2軸傾斜試料ホルダー使用時 | |
| X:± 30°/ Y:± 27° | X:± 36°/ Y:± 31° | |
| 高傾斜試料ホルダー使用時 | ||
| X:± 90° | X:± 90° | |
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