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JEOL日本电子 JEM-ARM200F NEOARM 原子分辨率分析电子显微镜

“NEOARM”标配采用我们自主研发的冷阴极场发射电子枪(Cold-FEG)和新型球差校正装置(ASCOR),能够校正高阶像差,不仅在200 kV的高加速电压下,而且在30 kV的低加速电压下也能实现原子级分辨率观测。
此外,它还集成了一个利用我们自主研发的像差校正算法自动进行高速、高精度像差校正的系统,从而实现高通量原子级分辨率观测。同时,它还
配备了新型STEM探测器,无论加速电压如何,都能提供高对比度的轻元素图像。这使得一种新型STEM成像技术(e-ABF方法)成为可能,该技术能够提高轻元素的对比度,从而更容易观察到含轻元素材料的清晰对比度。
为了满足日益增长的远程操作需求,主机和控制台已分离,并采用了我们全新的纯白和JEOL银配色,从而打造出更加精致的外观设计。

特征

特征 1 ASCOR
功能 2:JEOL COSMO™
功能 3 新 ABF
功能 4:完美视线探测器
功能 5:OBF 系统(可选)
功能 1

球差校正装置 ASCOR(高级 STEM 校正器)
“NEOARM”中集成的ASCOR能够校正高阶像差(6级像散),而高阶像差曾是传统校正装置的主要限制因素。ASCOR
与冷场发射枪(Cold-FEG)的结合,使得在从高到低的宽加速电压范围内均能实现高原子分辨率。

GaN [211]:200 kV


Si [110]:80 kV


石墨烯(单层):30 kV


UHR 配置的 STEM 图像

200kV、80kV 和 30kV 下的原子分辨率 STEM-ADF 图像、FFT 图案和 ronchigram 图像。

功能 2

自动像差校正软件 JEOL COSMO™(校正系统模块)
JEOL COSMO™ 采用了一种新型像差校正算法(SRAM:分段罗奇图自动校正功能矩阵),无需更换标准样品即可高精度、快速地校正高阶像差。
与传统校正算法相比,它具有更快的处理速度和自动化操作,能够实现高通量、流畅、高分辨率的观测以及各种元素分析,而不会使您的工作流程变得复杂。



样品:Si[110]
加速电压:200 kV

功能 3

新型ABF(环形明场)探测器系统
ABF探测器正被广泛用作高分辨率观测轻元素的有效方法。
“NEOARM”现已支持一种新的ABF成像方法(e-ABF:增强型ABF),该方法进一步提高了轻元素的对比度。这使得观测含轻元素材料的原子级结构变得更加容易。


提高了发光元素位置的对比度。

参考文献:SD Findlay、Y.Kohno、LA Cardamone、Y.Ikuhara、N.Shibata,《超显微学》136(2014)31-41。

功能 4

参与者视线检测器
Perfect Sight探测器是一种混合型探测器,它采用由不同材料制成的闪烁体。
“NEOARM”配备了这种探测器,因此无论加速电压如何,都能获得高对比度和定量精度的STEM图像。

功能 5

OBF系统(可选)*
OBF STEM(最佳明场扫描透射电子显微镜)是一种新型成像技术,它利用分段式扫描透射电子显微镜(STEM)探测器获得的分段图像作为相位图像重建的源数据,并通过专用傅里叶滤波器最大限度地提高图像的信噪比。该技术能够以极低的电子剂量实现对重元素和轻元素的高对比度成像。
即使是难以用标准环形暗场和环形明场STEM观察的电子敏感材料,也能在保持高对比度的同时,在各种放大倍率下轻松进行分析。

K. Ooe、T. Seki 等,《超显微学》220,113133 (2021)

STEM 低剂量成像
对于沸石和金属有机框架(MOFs)等电子敏感材料,需要在保持低电子辐照剂量(通常探针电流小于1.0 pA)的同时,以高对比度观察轻元素。OBF
STEM 非常适合此类低电子剂量实验,能够在低剂量条件下实现原子分辨率的 STEM 观察。

MOF MIL-101(左)和 MFI 沸石(右)的 OBF STEM 图像均采用单次拍摄获得,右图中的 FFT 图案证实了其具有 1 Å 的高空间分辨率。此外,图像堆叠平均(左图插图)也证实了其分辨率和对比度均达到了极高的水平。









样品:MOF MIL-101
仪器:JEM-ARM300F2
加速电压:300 kV
聚焦半角:7 mrad
探针电流:< 0.15 pA
(插图)50帧平均
样品提供:广西大学赵振霞教授

样品:MFI沸石
仪器:JEM-ARM300F2
加速电压:300 kV
聚焦半角:16 mrad
探针电流:0.5 pA
(插图)FFT图谱


用于轻元素的高对比度成像
OBF STEM 是一种观察轻元素的优秀技术。即使在低加速电压下,它也能实现高对比度和空间分辨率。
结合 OBF 的高剂量效率,它能显著降低对样品的损伤。









样品:GaN [110]
仪器:JEM-ARM200F
加速电压:60 kV
聚焦半角:35 mrad

样品:石墨烯
仪器:JEM-ARM200F
加速电压:60 kV
聚焦半角:35 mrad


在高加速电压下进行观测可以实现更高的空间分辨率。
它能够在保持高对比度的同时,实现亚埃级扫描透射电子显微镜(STEM)图像的观测。









样品:β-Si3N4 [0001]
仪器:JEM-ARM200F
加速电压:200 kV
聚焦半角:24 mrad
(插图) 10帧平均

样品:GaN [211]
仪器:JEM-ARM300F2
加速电压:300 kV
聚焦半角:32 mrad
(插图) 20帧平均

使用 SAAF 四轴飞行器配置时,e-ABF(增强型 ABF)不可用。

实时OBF成像
对于对电子束敏感的样品,从场搜索到图像采集的所有操作都必须在低剂量条件下进行。
在这种情况下,OBF STEM实时成像功能至关重要。OBF
实时成像功能是OBF系统的标准配置,它允许像普通STEM图像观察一样无缝更新显示,并具有简单的图形用户界面控制。
  • 详细介绍

规格和选项

分辨率*1 STEM HAADF 图像 70 pm (200 kV)、100 pm (80 kV)、160 pm (30 kV);
TEM 信息限值 100 pm (200 kV)、110 pm (80 kV)、250 pm (30 kV)
电子枪 冷阴极场发射电子枪——标准设备
像差校正装置 STEM:NEO ASCOR HOAC *2,TEM:带 DSS 的 CETCOR *3
像差校正装置自动调节系统 NEO JEOL COSMO™ 自动像差校正系统和现场调谐系统 (SIAM) 均为标准配置。
加速电压 30 至 200 千伏(80、200 千伏 - 标准;30、60、120 千伏 - 可选)
磁场自由模式 洛伦兹放大倍率设置模式(屏幕显示 50 倍至 8 万倍)——标准功能
样品转移机制 X、Y、Z轴超精细机械驱动,超精细压电元件驱动 – 标准配置
手术 RDS *4操作
  • 对于采用 UHR(超高分辨率极片)的 STEM/TEM 球差校正系统配置而言

  • HOAC(高阶像差校正装置)

  • DSS(DeScan 系统)

  • RDS(安装室分区)

本文网址 : https://www.yamakin-cn.com/product/11196.html

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