| 分辨率*1 | STEM HAADF 图像 70 pm (200 kV)、100 pm (80 kV)、160 pm (30 kV); TEM 信息限值 100 pm (200 kV)、110 pm (80 kV)、250 pm (30 kV) |
|---|---|
| 电子枪 | 冷阴极场发射电子枪——标准设备 |
| 像差校正装置 | STEM:NEO ASCOR HOAC *2,TEM:带 DSS 的 CETCOR *3 |
| 像差校正装置自动调节系统 | NEO JEOL COSMO™ 自动像差校正系统和现场调谐系统 (SIAM) 均为标准配置。 |
| 加速电压 | 30 至 200 千伏(80、200 千伏 - 标准;30、60、120 千伏 - 可选) |
| 磁场自由模式 | 洛伦兹放大倍率设置模式(屏幕显示 50 倍至 8 万倍)——标准功能 |
| 样品转移机制 | X、Y、Z轴超精细机械驱动,超精细压电元件驱动 – 标准配置 |
| 手术 | RDS *4操作 |
对于采用 UHR(超高分辨率极片)的 STEM/TEM 球差校正系统配置而言
HOAC(高阶像差校正装置)
DSS(DeScan 系统)
RDS(安装室分区)
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