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JEOL日本电子 JEM-ARM200F 的双维恩滤光器单色器电子显微镜

JEM-ARM200F 的双维恩滤光器单色器是新开发的，可实现原子尺度的超高能量分辨率 EELS 分析。

特征
配置

双维恩滤波器“点入点出系统”
第一维恩滤波器和静电透镜在狭缝平面上产生能量色散为 12.3 μm/eV 的聚焦光束。在该平面上，通过插入宽度从几微米到亚微米不等的狭缝，对电子束进行单色化。第二维恩滤波器消除能量色散，并在出射平面上产生消色差和像散的聚焦光束，从而在样品平面上形成圆形探针。因此，由于来自肖特基光源的点状光束在单色化后在出射平面上再次变为点状光束，我们将该单色化系统命名为“点入点出系统”。

复杂的八极维恩滤波器
精密的八极维恩滤波器产生均匀的偶极场，不会因偶极场的不均匀性而产生不必要的六极场。

布置在肖特基源和加速器之间
由于单色器位于单色器之后，并且单色器的轴向电位保持恒定，因此预设的单色器设置可以普遍适用于任何加速电压。

Mukai M 等：（2014），超显微学140：37–43。

能量分辨率
在 60 kV 和 200 kV 电压下，使用几种不同宽度的狭缝。
（采集时间分别为 0.002 秒和 0.1 秒）

所属分类：
JEOL 日本电子
发布时间： 2026-07-02

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详细介绍

60千伏		200千伏
缝隙宽度	0.002秒。	0.1秒	0.002秒。	0.1秒
0.1微米	24毫电子伏特	28毫电子伏特	30毫电子伏特	40毫电子伏特
0.25微米	28毫电子伏特	32毫电子伏特	40毫电子伏特	45毫电子伏特
0.5微米	36毫电子伏特	36毫电子伏特	45毫电子伏特	50毫电子伏特
1.3微米	80毫电子伏特	80毫电子伏特	90毫电子伏特	90毫电子伏特
2.0 微米	120毫电子伏特	124毫电子伏特	130毫伏	130毫伏
2.8 微米	172毫电子伏特	172毫电子伏特	180毫电子伏特	185毫电子伏特
4.0 微米	248毫电子伏特	248毫电子伏特	260毫电子伏特	260毫电子伏特

多次采集（0.25 μm狭缝）

表格显示了在 60 kV 和 200 kV 电压下，不同狭缝宽度对应的能量分辨率。零损耗光谱的采集时间分别为 0.002 秒和 0.1 秒。在狭缝宽度为 0.1 μm 且采集时间为 0.002 秒的情况下，60 kV 和 200 kV 电压下的最终能量分辨率分别为 24 meV 和 30 meV。0.1 秒和 0.002 秒采集时间下的能量分辨率仅略有下降，表明单色器的电气和机械稳定性良好。

图示为在 30 kV 电压下，采集时间为 0.002 秒时获得的零损耗光谱的强度分布图，其能量分辨率为 14 meV。

本文网址： https://www.yamakin-cn.com/product/11197.html

标签： JEOL日本电子 JEM-ARM200F 的双维恩滤光器单色器电子显微镜