| 离子源 | |
|---|---|
| 离子枪 | 低能聚焦电极 潘宁型离子枪（2台） |
| 铣削角度 | -10°~+10°可调 |
| 离子能 | 100 eV 至 8 keV |
| 离子电流密度 | 每支离子枪10 mA/ cm² |
| 光束对准 | 利用荧光屏进行精确光束对准 |
| 光束调整 | 可通过气体流量或放电电压进行调节。 |
| 样品间 | |
| 样本量 | 3毫米 |
| 样品旋转 | 转速范围为 1 至 6 转/分 |
| 样品安装 | 单面抛光样品台 / 双面抛光样品台 |
| X、Y轴运动范围 | ±0.5 毫米 |
| 样本观测 | 双目显微镜，数码变焦显微镜（可选） |
| 真空系统 | |
| 干式泵系统 | 两级隔膜泵（背压式）80 升/秒 |
| 极限压力 | 极限压力 6.6 × 10⁻⁴ Pa，工作压力 1 × 10⁻³ Pa |
| 真空表 | 样品室：冷阴极型 |
| 样品交换 | Whisperlok®气锁系统（样品交换时间：小于1分钟） |
| 外观等。 | |
| 尺寸/重量 | 495 毫米（宽）× 547 毫米（深）× 615 毫米（高），45 公斤 |
| 电源/功耗 | 单相交流电，100伏，50/60赫兹，200瓦 |
| 气体 | 氩气：G1（99.9999%）推荐设定压力：0.15 MPa |
| 冷却源 | 液氮 |
|---|---|
| 杜瓦罐容量 | 336毫升 |
| 杜瓦瓶保持时间 | 大约6-7小时 |
| 控制器 | 可以通过图形用户界面控制和显示设定温度。 |
| 加热器 1 | 用于舞台温度控制（-120°C 至 +25°C） |
| 加热器 2 | 冷却阶段恢复至室温 |
| 温度检测 | 硅二极管 |
| 温度范围 | -120°C 至室温 |
| 样品冷却 | 最低可达-120°C |
“DigitalMicrograph®”和“Whisperlok®”是Gatan公司（美国）的产品。
