| 尺寸 | （深）58.4 厘米 × （宽）50.8 厘米 × （高）76.2 厘米 |
|---|---|
| 包装重量 | 115公斤 |
| 电源 | 100-200伏交流电，50-60赫兹，400瓦 |
| 射频输出 调节范围 自动调节网络 |
：2 – 65 W ：有效耦合发生器和腔室之间的等离子体。 |
| 真空排气系统 | 两级变速隔膜泵（电子调速） |
| 排气速度 | 80 升/秒（2.8 立方英尺/秒） |
| 终极真空 | 6.7e-4 Pa (5e -6 Torr) |
| 操作真空 | 66.7 帕（0.5 托） |
| 真空系统 | 紧凑型皮拉尼压力表室，真空泵之间设有直列式电磁阀， 排气时间小于 1 分钟，通风时间小于 45 秒。 |
| 腔室（前部） 安装端口 |
2 个端口（用于侧入式 TEM 和 SEM 样品架的适配器） |
| 腔室（俯视图） 腔室尺寸 |
≤88.9 mm φ × (H)50.8 mm （扫描电镜平台、电子显微镜真空组件及其他真空兼容组件） |
| 腔室（侧视图） 腔室尺寸 |
65 mm φ × (H) 38 mm （3 mm 直径 TEM 网格 (~25)、多个 SEM 样品台、非标准形状的大样品等） |
| 清洁气体 | 预设和用户自定义配方——可设置气体混合比、射频输出和处理时间。 |
| 氧气压力/纯度 | 1.7 巴 / 99.995% |
| 氢气压力/ 纯度 | 1.7 巴 / 99.995% |
| 氩气压力/纯度 | 1.7 巴 / 认证标准产品（工业级等 - ±2% 保证） |
| 955.B | Solarus II 系统（氧气、氢气） |
|---|---|
| 955.A | Solarus II 系统（氧气、氢气、氩气） |
| 955.N | Solarus II 系统（氧气、氩气） |
| 955.BH | Solarus II 系统（氧气、氢气、泵站） |
| 955.AH | Solarus II 系统（氧气、氢气、氩气、泵站） |
| 955.NH | Solarus II 系统（氧气、氩气、泵站） |
