因为我看到了，所以我想要追求。

在当今世界，纳米级分辨率和分析性能至关重要，数据采集的吞吐量也同样重要。全新推出的JSM-IT710HR是JEOL HR*系列的第四代产品，其设计理念是“让任何人都能轻松使用扫描电子显微镜（SEM）拍摄高分辨率图像”。凭借
扩展的自动化功能和全新的探测器系统带来的更佳观测性能，这款仪器操作性更强，将激发您探索更广阔的领域。

*HR = 高分辨率

特征
产品视频

因为我看到了，所以我想要追求。
① SEM图像与光学图像一起显示。

样本提供：Hinotonton Zoo（羽村动物园）

② 高分辨率电子枪提供更好的可视性。

因为我看到了，所以我想要追求。
降低充电成本


低真空

三维观测


多段检测器

元素信息


EDS ※

晶体结构分析


EBSD *

*这是一项可选功能。

电荷减少
样品由东京农工大学工学部生物技术系浅仓哲郎教授提供。

晶体结构分析
样品提供：国立材料科学研究所（NIMS）津崎兼明教授

新功能
自动测量功能：简易扫描电镜/能谱仪
简易扫描电镜
简易扫描电镜（Simple SEM）是一项能够同时记录多种条件并实现自动测量的功能。这显著提高了日常工作的效率。

① 一次性设置所有条件

② 选择整个观察区域。

③ 开始自动观察

现场构建3D图像：实时3D
新型多段背散射电子探测器可以同时从四个方向获取背散射电子图像，生成简化的三维重建图像，并将其显示为实时图像。


从四段式元件获取的图像


样品：塑性断裂面


实时3D图像


新型低真空二次电子探测器（LHSED）
新开发的 LHSED 可以在低真空条件下获得清晰的表面纹理和发光信息。

LHSED 的特点

提高低真空二次电子实时成像的图像质量
获取发光信息
可在纹理信息和发光信息之间切换。




与传统型号相比，肖特基FE电子枪的稳定性提高了四倍以上。
自动光束调节
JSM-IT710HR 可自动调整从轴线对齐到散光和对焦的所有参数，无需进行复杂的手动调整。

如果对准不正确：自动光束对准 (ABA)

如果图像未对焦或未处于对焦状态：自动对焦自动像散 (AF/AS)

二次电子探测系统
二次电子探测器（SED）


样品：孔雀羽毛*
*样品提供方：日之顿动物园（羽村动物园）

低真空二次电子探测器（LVSED 或 LHSED）


样品：纤维素微纤维

实现高分辨率和高电流
JSM-IT710HR 中使用的肖特基场发射电子枪集成了聚光透镜和电子枪，可以在抑制光束发散的同时使用高电流，从而实现高分辨率的观察和分析。

背散射电子探测系统
新型多段背散射电子探测器可以同时从四个方向获取背散射电子图像，生成简化的三维重建图像，并将其显示为实时图像。

所有分析均以“零磁”开始。
利用 Zeromag 的光学图像可以提高视场搜索效率。
将扫描电镜图像与光学图像关联起来，可以方便地实现观察、分析和自动测量。




EDS集成
日本电子株式会社（JEOL）不仅自主生产和销售扫描电子显微镜（SEM），还自主生产和销售能谱仪（EDS）。
凭借这一优势，该系统实现了SEM观察屏幕和EDS分析结果的集成操作和管理，显著提高了易用性和数据管理效率。




相位分析功能
JEOL 的 EDS 现在包含相分析功能，可以绘制单个物质（化合物和元素）的分布图。

背散射电子图像


相图（各相叠加图）


示例：精密切割刀片的横截面

通过相分析，获得了基于 Co、Cu 和 Sn 成分差异的映射图。

合作 区域面积（%）：68.15

CuSn（富铜） 面积（%）：16.25

CuSn（富锡） 面积（%）：14.54

规格和选项
请查看我们的产品目录。

目录下载
JSM-IT710HR扫描电子显微镜

应用
电子设备
JSM-IT710HR 的主要特点：高分辨率、高对比度、广域观测。

引领
在电子器件的连接界面处也清晰地观察到了纳米空洞。

样品：LED CP （横截面）
观察放大倍数：×250（上），×1,000（左下），×40,000（右下）
加速电压：5 kV





* CP：横截面抛光机™

接线方式
利用低真空功能，无需沉积即可观察大面积的抗蚀剂表面。



样品：布线图案表面，放大倍数：×200（左），×300（右），真空压力：70 Pa，加速电压：15 kV

SRAM
高分辨率EDS图谱

样品：SRAM 的 CP 段
放大倍数：×10,000（上），×50,000（下） 加速电压：5 kV（SEM），7 kV（EDS）


背散射电子图像


EDS图


铝焊盘
通过同时获取低真空二次电子/背散射电子图像，无需沉积即可获得各种表面形貌和成分信息。

低真空二次电子成像


低真空背散射电子图像


样品：焊盘表面，放大倍数：×100，真空压力：70 Pa，加速电压：15 kV

钢
JSM-IT710HR 的主要特点：适用于 EBSD 分析的光学系统（肖特基场发射电子枪，外透镜）


左侧是马氏体组织（SCM435）的示意图，右侧是铁素体+马氏体组织（SCM435）的IQ、IPF（方向：轴1）和IPF（方向：轴1）图像，以及重建奥氏体组织的IPF图像（方向：轴1）。

能源陶瓷
JSM-IT710HR 的主要特点：分析能力、低真空功能。

钙钛矿太阳能电池衬底
太阳能电池衬底纳米层高精度分析



陶瓷基板（Si3N4 ）
低真空功能允许对绝缘体进行元素分析，而无需进行气相沉积。

低真空背散射电子图像


低真空元件图


加速电压：5 kV，低真空元素映射（30 Pa）区域
： Si3N4衬底的机械抛光表面** 机械抛光后进行氩气平面铣削

软材料与生命科学
JSM-IT710HR 的实用特性包括：低加速电压、低真空功能和超低倍率观察。

ABS树脂
即使以数万倍放大倍率获取多张图像，也能实现稳定的图像亮度和图像拼接精度。




明胶
高亮度、高分辨率二次电子图像



人工血管
在载玻片上观察生物样本，从低倍到高倍放大。