JSM-IT510系列共有四种型号。
| 基本单元 (BU) | 基本型，可在高真空条件下进行观察。 |
|---|---|
| A（分析） | 标准分析型仪器，配备能量色散X射线光谱仪（EDS）。 |
| LV（低真空） | 低真空型配备背散射电子探测器 (BED)，可在低真空条件（高达 650 Pa）下进行观察。 |
| LA（低真空与分析） | 一种低真空分析型仪器，由BED和EDS组成。 |
| 解决 | 高真空模式 ：3.0 nm (30 kV)、15.0 nm (1.0 kV) 低真空模式*1： 4.0 nm (30 kV BED) |
|---|---|
| 放大 | 5倍至300,000倍 （放大倍率是根据128毫米×96毫米的显示尺寸定义的） |
| 显示放大倍率 | 14倍至839,724倍 （放大倍率是根据358毫米×269毫米的显示尺寸定义的） |
| 电子枪 | W型丝全自动枪对准 |
| 入射电压 | 0.3千伏至30千伏 |
| 低真空压力设定范围*1 | 10～650帕 |
| 物镜孔径 | 4 级，带 XY 微调功能 |
| 自动功能 | 灯丝调整、枪对准调整、 光束对准 、聚焦/像散/亮度/对比度调整。 |
| 最大样本尺寸 | 直径 200 毫米 x 高 75 毫米； 直径 200 毫米 x 高 80 毫米*3； 直径 32 毫米 x 高 90 毫米*3 |
| 样品阶段 | 大型等心式 X：125 毫米 Y：100 毫米 Z：80 毫米 倾斜：-10 至 90° 旋转：360° |
| 图像模式 | 二次电子图像、参考图像、合成图像*1、 不均匀图像* 1、3D图像*1、PD图像*4 |
| 图片尺寸 | 640 × 480 1,280 × 960 2,560 × 1,920 5,120 × 3,840 |
| 射击辅助功能 | 蒙太奇摄影、简易扫描电镜 零磁图、实时3D |
| 作战支援功能 | 配方（标准配方/自定义配方） 测量（两点间距离、平行线间距、角度、直径等） 样品交换导航 信号深度显示 3D测量*5 |
| 操作系统 | Microsoft® Windows® 10 64位 |
| 观察监视器 | 23.8英寸触摸屏 |
| EDS功能*2 | 请参阅EDS规格。 |
| 数据管理 | 微笑视图™实验室 |
一键生成报告 |
输出到Microsoft® Word输出到 Microsoft® PowerPoint *6 |
| 排气系统 | 全自动TMP：1台；RP：1或2台*1 |
背散射电子探测器（BED）*1
低真空混合二次电子探测器（LHSED）
低真空二次电子探测器（LVSED）
能量色散X射线光谱仪（EDS）*2
波长色散X射线光谱仪（WDS）
背散射电子衍射探测器（EBSD）
装载锁定室（LLC）
舞台导航系统（SNS）
舞台导航系统大样本（SNSLS）
膛室瞄准镜（CS）
操作面板（OP2）
LaB6 单元 (LAB6)
三维分析软件（SVM）
表格（TBL）
适用于 A（分析）/ LA（低真空分析）。
●：标准 ○：可选
| 标准 | ||
|---|---|---|
| 控制电脑 | 操作系统：Microsoft® Windows® 10 64位*8 | ● |
| 支持的语言 | 日语/英语/中文*7 | ● |
| 探测器 | SDD 类型 | 从探测器列表中选择。 |
| 光谱分析 | 定性分析（峰识别、自动定性分析） 可视化峰识别 无标样定量分析（ZAF 法） 标准定量分析（ZAF 法）*9 PHI-RHO-Z (PRZ) 法 定量校正法 QBase（定性分析数据库） |
● |
| 线分析 | 线分析（水平，任意方向） | ● |
| 元素映射 | 元素图（多色显示、单色显示、多色复合） 最高分辨率 4096 x 3072 实时弹出式光谱 波形分离图（净计数图、定量值图） 实时净计数图 实时滤波器 线轮廓显示 探头跟踪 回放分析 |
● |
| 持续分析 | 光谱分析、谱线分析和元素映射 数据（定性和定量）的综合分析。 |
● |
| 剪辑 | 自动生成蒙太奇图像（SEM 图像、元素图）： 跨越多个视野的连续元素图。 |
● |
| 粒子分析软件 | 颗粒分析（自动/手动）和EDS分析、颗粒分析数据分类功能、 颗粒分析数据统计处理的图形显示、广域连续颗粒分析和EDS分析、 GSR库、 铁矿石分析库、 汽车零部件清洁度分析库 |
○ ○ ○ ○ |
| 报告撰写 | SMILE VIEW™ 实验室：输出至 Microsoft® Word 和 Microsoft® PowerPoint 。*6 |
● |
| 扫描电镜集成 | 集中管理观测和分析数据； 在 SEM 操作屏幕上指定分析位置（从 SEM 用户界面直接分析）； 以图形方式显示分析位置。 |
● |
| 帮助功能 | 提供帮助指南 | ● |
| 双探测器 | 来自各个探测器的数据将被整合和分析。*10 | ○ |
| 离线功能 | 允许在设备以外的PC上进行数据分析的授权软件。 | ○ |
这是 JSM-IT510LV/LA 的标准功能。
这是 JSM-IT510A/LA 的标准功能。
需要期权持有人。
LHSED（可选）为必填项。
需要 SVM（可选）。
必须安装Microsoft® Office 。
中文是可选的。
对于 JSM-IT510A/LA 型电子显微镜，EDS 软件已安装在电子显微镜自带的电脑上，无需单独的电脑用于 EDS 分析。
需要配备辐照电流补偿单元（可选）。辐照电流的自动读取仅限于连接到电子显微镜本体的电脑。
需要两个检测元件面积相同的EDS探测器。样品台的倾斜角度可能因安装位置而异。
外观和规格如有变更，恕不另行通知，以求改进。Microsoft
、Windows、PowerPoint 和 Microsoft Office 是微软公司在美国和其他国家/地区的注册商标或商标。Microsoft
Word 是微软公司的产品名称。
