结合激光和扫描电镜技术，实现了高质量的大面积加工和测量。

“LazEdge”是一款将日本电子株式会社（JEOL）的扫描电子显微镜（SEM）与滨松光子学株式会社（Hamamatsu Photonics）的专有激光技术相结合的设备，可在电子显微镜样品室内进行激光加工。通过高速、大面积加工获得的高质量横截面样品可无缝衔接至各种分析，例如SEM观察、元素分析和晶体取向分析，而无需将样品暴露于样品室外部。这满足了广泛的应用需求，包括金属样品分析、无需暴露于大气环境的电池分析以及需要高速横截面加工的半导体失效分析。

特征
一种新型扫描电镜已经研制成功，它配备了飞秒激光器，能够进行高质量的横截面加工。
要点 1：
在样品室中始终可以实现高质量的横截面加工。


LazEdge将激光加工系统集成到其扫描电镜（SEM）中，可在样品腔内实现高速、大面积的横截面加工。
它采用独特的光学系统，可对激光束的相位进行空间调制，从而以最小的激光诱导周期性表面结构（LIPSS）实现高质量的横截面加工。

要点 2：
防止样品室受到污染。

我们独有的屏蔽技术 LazEdge Shield 可防止处理过程中碎屑散射，
从而保持探测器、显微镜镜筒和样品室壁清洁无污染。

要点 3：
无缝进行激光横截面加工 ⇔ SEM 观察。


在扫描电镜样品室内部，样品处理和观察可以快速切换。由于仅使用激光处理即可获得EBSD质量的横截面，因此可以通过自动重复处理和测量来获取3D EBSD图像。

激光与扫描电镜的融合能够快速处理和测量大面积区域。
利用大面积高速处理技术进行金属样品测量的实例。
该系统可在最短的处理时间内覆盖大面积区域。大面积处理和EBSD图谱采集可在大约一小时内完成。该系统以惊人的速度无缝集成了处理和分析过程。




样品：钼板 处理时间：约30分钟

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