| 标准规格 | ||
|---|---|---|
| 格式 | IB-19530CP | |
| 离子加速电压 | 2-8千伏 | |
| 铣削速度 | 500 μm/h 或更高（加速电压 8 kV）*1 | |
| 示例摆动函数*2 | ±30°自动摆动 | |
| 自动处理启动模式 | 一旦达到设定的压力值，处理过程将自动开始。 | |
| 间歇加工模式 | 可设置离子束照射时间和停止时间（开启：1 至 999 秒，关闭：1 至 999 秒） | |
| 完成模式 | 自动切换处理条件 | |
| 大面积横截面铣削模式 | 最大加工宽度：8mm（可选：宽区域加工夹具 IB-11730LMH） | |
| 最大样本量 | 横截面铣削 | 11mm（宽）x 10mm（长）x 2mm（厚）（标配样品架） 25mm（宽）x 15mm（长）x 10mm（厚）（可选：宽区域加工支架 IB-11730LMH） |
| 平面铣削 | 40mm（直径）× 15mm（厚度）（可选：大型样品旋转支架 IB-11550LSRH） | |
| 样本移动范围 | X轴：±6毫米，Y轴：±2.5毫米 | |
| 如何操作 | 触控面板，6.5英寸显示屏 | |
| 加工定位方法 | 样品台由摄像头*3监控。即使在光学显微镜下，也可以调整加工位置。 | |
| 用于对准的相机放大倍率 | 大约 x 70（在 6.5 英寸显示屏上） | |
| 用于处理观察的相机放大倍率*4 | 大约 20 到 100 次（在 6.5 英寸显示器上）（安装 IB-14510MCAM 时） | |
| 外接显示器输出*4 | 对准相机和加工观察相机可以切换，并在外部显示器上显示（当安装 IB-14510MCAM 时）。 | |
| 预设功能 | 提供四组预设加工条件（加速电压、氩气流量、加工时间、间歇加工）。 | |
| 尺寸和重量 | 主机 | 545毫米（宽）x 550毫米（深）x 420毫米（高），约66公斤（安装IB-14510MCAM时） |
| 旋转泵 | 尺寸：120毫米（宽）x 288.5毫米（深）x 163毫米（高），重量：约9.3公斤 | |
| 电源 | 单相交流 100-120V，50/60Hz，允许输入电压波动小于 10%，设备额定电流为 15A 或以上。 |
|---|---|
| 最大功耗 | 650伏安 |
| 地面终端 | D类接地（100Ω或更低） |
| 氩气*5 | 建议纯度为 99.9999% 或更高。 工作压力：0.1–0.2 MPa (1.0–2.0 kgf/cm² )。软管 接口：JIS B 0203 Rc 1/4 |
| 室温 | 15-25°C |
| 湿度 | 60%或以下（无冷凝） |
2 小时内的平均值，硅当量，边缘距离 100µm
专利号：4557130
专利号：4208658
通过连接 IB-14510MCAM，您可以实时监控样品。
您可以在研磨过程中观察样品的状态。
请自备外部显示器。
氩气、气瓶和调压器必须由客户提供。
