这款高规格的俄歇电子能谱仪配备半球形静电分析器，可对纳米到微米尺度的化学键合状态进行高通量分析；同时还配备场发射电子枪，可提供稳定、高电流，该电子枪也用于电子探针显微分析（EPMA）。此外，它还配备高精度等心样品台和浮动离子枪，能够分析以前被认为无法分析的绝缘材料，因此用途广泛，可处理从金属到绝缘体的各种样品，并分析其成分和化学信息。

特征
光谱成像

将光谱存储在每个像素中。


从光谱图像中提取的元素分布图

现在可以获取光谱图像，其中每个像素都存储着光谱信息。与EDS映射类似，数据采集后即可提取光谱和元素浓度图。传统的映射方法需要预先指定待测元素，但光谱成像可以通过采集宽能量范围的数据来避免元素遗漏。此外，由于可以在任意能量范围和任意能量分辨率下进行测量，因此它不仅可以应用于元素分析，还可以应用于反射式EELS分析和其他应用。

标准光谱数据库和波形分离软件

金属锡、SnO 和SnO₂的标准光谱


焊料表面不同化学状态的深度分布

它拥有一个包含来自140种不同物种的500多个标准光谱的丰富数据库。波形分离软件支持一键分析重叠的俄歇峰和复杂的化学键合状态，这些任务通常是分析人员的难题。

规格和选项
电子辐照系统
二次电子分辨率 3nm（25kV，10pA）
奥氏分析中最小探针直径 8nm（25kV，1nA）
电子枪 肖特基场发射型
加速电压 0.5–30千伏
探针电流 10⁻¹¹至2 × 10⁻⁷ A
放大 25 到 500,000 次
俄歇电子能谱仪
分析器 静电半球形分析仪（HSA）
能量分辨率（ΔE/E） 0.05%至0.6%
敏感性 840,000 cps（7通道检测器）
Cu-LMM，10kV，10nA
外观和规格如有更改，恕不另行通知，敬请谅解。

可扩展性
提供端口以添加以下功能，从而实现多样化的分析能力。

停车设备示例

样品冷却和破裂装置

背散射电子探测器

能量色散X射线光谱仪（EDS）

转运船

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