它采用全新设计的用户界面，可在日语环境下操作，使用户“能够立即轻松上手”。此外，它标配考夫曼型刻蚀离子源和双阳极，虽然是一款通用型XPS，但也具有广泛的扩展性，包括高温加热系统和气体团簇离子源。


① 可在短时间内完成的大面积分析

② SPECSURF 软件使操作变得简单。

③ 能够测量多种材料的设备配置



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特征
① 可在短时间内完成的大面积分析
JPS-9030 是一款毫米级分析范围的 XPS 仪器，可分析样品的大面积区域，尤其擅长平均值分析。它能够获取样品本身的信息，而无需担心偏析或局部污染。
该仪器适用于粉末、薄膜、板状样品等的元素分析和化学键合状态分析。

○ 广域分析的应用实例——锂离子电池正极材料的元素分析

尽管锂离子电池正极材料乍看之下可能均匀一致，但如果分析范围过窄，元素分析结果可能会出现差异。
通过拓宽分析范围，可以获得不受局部污染影响的平均信息。

将分析范围缩小到三个地点
并进行测量后，结果出现了很大的差异。


将分析范围扩大到三个地点后
，结果的差异较小。


② SPECSURF 软件使操作变得简单。
新开发的 SPECSURF Ver.2.0 软件支持日语，凭借其 Ribbon 界面和标签窗口系统的结合，仅使用鼠标即可提供用户友好的操作环境。




③ 能够测量多种材料的设备配置 - Mg/Al 双阳极 X 射线源 -

JPS-9030 可使用单色 X 射线源和镁/铝双阳极 X 射线源。镁/铝双阳极 X 射线源允许在照射样品的镁 K 线和铝 K 线 X 射线之间切换，即使对于光电子峰和俄歇峰重叠的大量元素样品，也能顺利进行测量。

Mg/Al双阳极X射线源的应用实例——含铁和镍样品的分析——
在XPS光谱中，含有多种过渡金属的样品中，光电子峰和俄歇峰重叠现象很常见。下图展示了一个含有Fe和Ni的样品的测量示例。可以看出，使用Mg源可以避免使用Al源时出现的峰重叠现象。

使用铝源进行测量 ⇒ 峰值重叠


使用镁源进行测量 ⇒ 避免峰重叠


③ 能够测量多种材料的设备配置 - 考夫曼型离子源 -

JPS-9030 配备考夫曼型离子源作为氩离子源。该离子源可产生高电流，即使在较低的加速电压下也能实现有效的刻蚀。这使得刻蚀能够在保持样品结构的同时进行。

此外，JPS-9030 将离子源置于样品制备室中。这使得蚀刻液滴仅限于样品制备室，防止污染保持超高真空状态的分析室。

考夫曼型离子源的应用实例——用于极紫外光刻的钼/硅多层膜反射镜——

JPS-9030 可从垂直方向用低加速氩离子辐照样品，因此适用于超薄多层膜的深度剖析。
以下是用于极紫外光刻的 Mo/Si 多层膜反射镜的深度剖析结果。即使对于厚度约为 10 nm 的薄膜，也能捕捉到层状结构并评估界面陡峭程度。

③ 设备配置能够测量多种材料 - 以及各种其他附件 -
JPS-9030 提供多种可选配件。
我们还可根据您的特定需求生产附件。

多种选择
用于提高能量分辨率的单色X射线源

适用于易受损有机样品的氩气簇离子源

红外加热系统，加热温度可达1000℃以上

用于转移未暴露样品的容器


我们提供多种选择，以满足客户的各种需求。

XPS 能做什么
使用 XPS 可以进行的分析（应用）示例包括以下几种：

表面元素分析
XPS技术能够对样品最外层表面（10纳米或更薄）进行元素分析。
因此，即使是肉眼难以识别的有机污染物也能轻松进行分析。


干净的PET（左）和表面有硅油残留物的PET（右）。


PET和硅涂层PET的C1s光谱

化学键状态分析
XPS不仅可以进行元素分析，还可以进行化学键合状态分析。
例如，在锂离子电池中，它可以用来评估电极上存在的锂化合物的类型。


锂离子电池的结构


各种锂化合物的锂 1s 光谱

深度剖析分析
通过使用 XPS 进行深度剖析分析，可以评估从约 10 nm 的极薄样品到几微米厚的样品中界面处的层结构和化学键合状态。