| 物品 | 规格 |
|---|---|
| 加速电压 | 100千伏 |
| 场大小 | 1000微米 |
| 最小增量 | 0.25纳米 |
| 场连接精度 | ±9 nm |
| 叠加精度 | ±9 nm |
| 最小线宽 | ≤8 nm |
| 束流 | 50 pA 至 400 nA |
| 扫描速度 | 200MHz（最大值） |
| 舞台位置读取分辨率 | 0.15纳米 |
| 像差校正 | 偏转焦点 偏转散光 偏转畸变 |
| 最大材料尺寸 | 300毫米晶圆 9英寸掩模 |
| 功耗 | 正常情况下为 5 千伏安 |
| 标准尺寸 | 7.4 米 × 5.3 米 × 2.7 米（高） |
| 作曲（节选） |
|---|
| 绘图装置基本体 |
| 10碟盒式磁带传输系统 |
| 控制CPU系统 |
| 控制程序 |
| 数据准备程序 |
| 选项（部分列表） |
|---|
| 光学显微镜 |
| 晶圆传输系统（兼容 300 毫米晶圆 FOUP） |
| 晶圆传输系统（兼容200毫米晶圆） |
| 48千伏高压应用方案 |
| 各种磁带 |
| SECS/GEM 通信兼容 |
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