一种具有多种用途的低能电子束辐照源。
特征
利用低加速电压进行低损伤辐照
精确调整电子束强度分布
根据被照射物体的形状设置合适的扫描模式。
电子束辐照源示意图
光束扫描示例
电子辐照源应用实例
电路板清洁
薄膜静电荷增强了附着力。
基材和涂层的表面改性
真空处理设备
辊涂机
兼容电源
BS-720xxICE系列电子枪电源
规格和选项
加速电压 -1kV 至 -6kV
最大发射电流 0.2A（取决于加速电压）
工作压力 5 × 10⁻⁵至1 × 10⁻² Pa
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