这是一款高性能、操作简便的电子枪电源。

其主要特点如下：

特征
1. 产量提升
2. 减少颗粒飞溅
3. 提高了薄膜沉积工艺管理的便利性。
4. 节能紧凑
5. 可更换为 JST-F 电源。

1. 产量提升

XY扫描、圆扫描和线扫描均为标准功能。

熔融轨迹可以很容易地进行调整，通过优化熔融轨迹可以提高蒸发分布的重现性。


2. 减少颗粒飞溅

通过放电抑制电路实现的加速电压的高速响应和高速放电抑制控制，显著改善了坩埚周围沉积物的再沉积以及电子枪放电时由于光束瞬时运动而产生的蒸发材料的飞溅。


3. 提高了薄膜沉积工艺管理的便利性。

数字显示屏可以对电子枪的各种详细设置进行数值管理，使用户能够轻松了解和管理电子枪的状态。

即使没有测量仪器，也可以检查电子枪电源的状态，从而实现远程技术支持和故障排除，并显著提高响应时间。

内置的电弧计数功能可以让你以数值方式捕捉电弧产生的频率和趋势，这有助于了解沉积室的污染程度和电子枪的状况。


4. 节能紧凑

高效节能电源（功耗降低约10%）*与我们传统的电源相比

紧凑型设计


5. 可更换为 JST-F 电源。

通过使用信号转换单元，可以在不修改沉积设备侧控制系统的情况下更换电源。

有关线缆配置，请参阅“规格/选项”选项卡。

特点一：产量提高
BS-720xxICE电源标配三种扫描模式：XY扫描、圆周扫描和线扫描。
在每种模式下，均可通过调节峰值来调整扫描频率和停留时间，从而改善沉积材料的熔痕。
由此可获得良好的薄膜厚度分布，并提高成品率。


【验证实验：扫描模式差异导致的薄膜厚度分布】
在圆形扫描中，即使沉积材料深埋于介质中，薄膜厚度分布也保持稳定。
我们在以下条件下进行了实验，并测量了ZrO2浅埋和深埋时的光谱特性。

φ1300 毫米腔室。TS 1100 毫米。基板圆顶的最外环。

在不改变 ZrO2 压片的情况下，使用单个压片沉积了三批 λ/4。

我们分别采用圆扫描和XY扫描进行了实验。




该图显示了使用单个 ZrO2 颗粒在 λ/4 深度沉积的 1 至 3 批薄膜的叠加光谱特性。
在 XY 扫描中，衬底穹顶最外缘的光谱特性在第一批（浅蚀刻）和第三批（深蚀刻）之间存在差异。
在圆形扫描中，衬底穹顶最外缘的光谱特性则一致。

ACR（高级圆形模式）
是一种扫描模式，它将传统的圆形扫描与 X 线扫描的停留时间设置相结合。
它允许在径向方向上精确、直观地设置停留时间。

高级循环模式 (ACR) 运行规范
<规格>
不使用径向停留时间的数学公式，而是采用与现有 XLINE 模式相同的块规格方法，允许自由设置径向强度分布。


<设置方法>
XLINE模式的波发生方法已是环形炉的标准配置，现将其应用于圆扫描模式。
半径被划分为20个区间，停留时间可精确设置。

特点 2. 减少颗粒飞溅
BS-720xxICE 电源标配三级放电抑制功能（电弧抑制器）。
该功能在发生电弧时将加速电压切断至 0V，并在电弧熄灭后恢复加速电压。
由于采用了开关电源，BS-720xxICE 电源实现了微秒级的高速加速电压恢复。

当放电抑制功能启动时，加速电压会被切断/恢复，导致电子束移动/返回坩埚外部。
对于加速电压恢复时间较长的电源，电子束会长时间暴露在坩埚外部，这可能导致坩埚外部的沉积物受热蒸发，进而造成薄膜受到异物污染。

在 BS-720xxICE 电源中，加速电压的恢复时间非常短。

即使启动了放电抑制功能，它也不会加热和蒸发坩埚外部的任何沉积物。
即使启动了放电抑制功能，坩埚内沉积材料的表面温度仍然很低且稳定。

这些措施能有效减少膜中异物的掺入。

【验证实验：加速电压恢复时间的影响】
我们通过实验证实了极短的加速电压恢复时间的影响。
将测试样品（在缺氧条件下将TiOx沉积在铜板上，以便观察颜色差异的样品）放置在坩埚外。

当光束照射到坩埚中时，压力迅速增加，有意产生多个电弧。


使用传统电源时，加速电压恢复时间较长，导致测试样品上的电子束照射时间过长，造成TiOx蒸发，使下方的铜板显露出来。
相比之下，使用BS-720xxICE电源时，测试样品始终保持黑色。这是
因为加速电压恢复时间较短，导致测试样品上的电子束照射时间较短，从而防止温度升高，进而防止TiOx蒸发。

优质产品价格比较
用户使用 JST-10F 电源和 BS-72050ICE 电源对紫外-红外截止滤光片进行了批量生产测试，以比较良率。结果表明，使用 BS-72050ICE 电源时，良率较使用 JST-10F 电源时有所提高，这得益于 BS-72050ICE 在异常放电情况下具有高速恢复性能，并且其扫描调整功能改善了熔痕。


特点 3. 提高了薄膜沉积过程管理的便利性。
BS-720xxICE 电源没有控制面板。

它配备的是一个功能丰富的遥控器。您可以使用遥控器调节各种电源设置。

每个参数均以数值形式设置和管理，确保多台设备间设置完全一致，避免设备间出现不一致的情况。这
显著提高了故障排除和技术支持的响应速度，并且便于在出现问题时进行恢复。
参数设置可以设置密码保护，从而允许根据操作员和管理员的权限进行参数管理。

设置时
将遥控器置于设置模式，并使用数字进行配置。
旋转【发射电流控制音量】旋钮，从菜单中选择项目或为该参数设置数值。



手动存款时

ACC 和 FIL 可通过遥控器上的 [ACC] 和 [FIL] 开/关按钮进行开启/关闭。
[LCD 显示屏] 以数字形式显示位置、扫描和发射电流值。
由于发射电流以数字形式显示，因此在执行与上次相同的沉积操作时，只需将其设置为与上次相同的数值即可，从而提高了重复性。









BS-720xxICE电源配备了电弧计数功能。
电弧事件的次数可通过遥控器屏幕或外部模拟输出进行查看。
通过监测电弧事件的频率和次数，可以了解腔室内的污染程度和电子枪的状态，这有助于管理薄膜沉积过程。


特点四：节能紧凑
能耗已得到改善。


BS-720xxICE电源比JST-F电源体积更小，设计紧凑。


特性 5. 可更换为 JST-F 电源。
当从 JST-F 电源切换到 BS-720xxICE 电源时，需要使用 BS-64330CNV 信号转换单元。该单元
安装在气相沉积设备控制系统和 BS-720xxICE 电源之间。它
无需对气相沉积设备的控制系统进行任何修改，即可将外部控制信号转换为 BS-720xxICE 电源可用的信号。

使用 BS-64330CNV 信号转换单元时的电缆配置，请参阅“规格/选项”选项卡。


其他特性：宽输入电压范围
BS-720xxICE 电源的输入电压范围很宽，为 180 至 242 V。
在标准输入电压为 220 V 的地区，由于输入电压波动可能超过规定电压，因此在过载情况下使用该电源存在风险。
此外，束流照射期间的输入电压波动可能导致束流特性恶化，例如束流失准。然而，使用 BS-720xxICE 电源，输入电压波动对熔痕的影响几乎可以忽略不计。