这是用于电子束沉积的高压电源，与偏转式电子枪配合使用。

特征
JST-F系列拥有非常多的成功安装案例，并具有极佳的稳定性。

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规格和选项
模型 JST-10F JST-16F
输出 最大输出 10千瓦 16千瓦
可变加速电压 -4kV 至 -10kV
发射电流 0-1A 0–1.6A
灯丝电流 最大电流 40A
加速电压纹波含量 5%或更低（最大输出时）
偏转线圈输出 0-2A
扫描线圈输出 最大频率 500Hz (*)，最大输出 8Aap-p，±2 A 直流
互锁 外观：3分，内饰：5分
外部信号 输入类型：16种，输出类型：9种
输入功率（50/60Hz） 三相 200V±10%，15kVA 三相 200V±10%，25kVA
外部尺寸 电源单元 570毫米（宽）×760毫米（深）×1545毫米（高）
控制面板 481毫米（宽）x 300毫米（深）x 150毫米（高）
大量的 约390公斤 约450公斤
地面 A类接地（接地电阻Ω或更低）