这是用于电子束沉积的高压电源，与偏转式电子枪配合使用。

特征
JST-F系列拥有非常多的成功安装案例，并具有极佳的稳定性。

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BS-64010SCT

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规格和选项
模型 JST-10F JST-16F
输出 最大输出 10千瓦 16千瓦
可变加速电压 -4kV 至 -10kV
发射电流 0-1A 0–1.6A
灯丝电流 最大电流 40A
加速电压纹波含量 5%或更低（最大输出时）
偏转线圈输出 0-2A
扫描线圈输出 最大频率 500Hz (*)，最大输出 8Aap-p，±2 A 直流
互锁 外观：3分，内饰：5分
外部信号 输入类型：16种，输出类型：9种
输入功率（50/60Hz） 三相 200V±10%，15kVA 三相 200V±10%，25kVA
外部尺寸 电源单元 570毫米（宽）×760毫米（深）×1545毫米（高）
控制面板 481毫米（宽）x 300毫米（深）x 150毫米（高）
大量的 约390公斤 约450公斤
地面 A类接地（接地电阻Ω或更低）
依恋
ST-AS10F / ST-AS10G 放电抑制装置
该装置可抑制电子束沉积过程中的异常放电。它能抑制放电噪声，防止沉积中断。ST-AS10F 采用两级放电抑制电路，而 ST-AS10G 采用单级放电抑制电路。


ST-AS10G

模型 ST-AS10F ST-AS10G
适用的加速电压和电流 -4kV 至 -10kV，1.6A 或更小
工作压力 6 × 10⁻² Pa 或更低
电子束中断时间 0.5毫秒或更短* 0.1毫秒或更短
恢复期电压过冲加速 误差在 20% 以内 / 误差在 3 毫秒以内
放电期间整流波电流增大 1A，100μS 或更小
运行期间的停机时间直至第二阶段

ST-203电子枪同时使用装置
当使用单个电源同时驱动两支电子枪时，会使用该系统。它需要两个控制面板，每个面板专用于一支特定的电子枪。

虽然可以使用不同类型的电子枪，但某些电子枪组合可能会对加速电压和其他参数的范围造成限制。

ST-EXTSIG 外部信号控制
它可以集成到控制面板中，除了九个标准外部输出信号外，还可以向外部输出各种信号，例如发射电流确认信号。

电缆配置