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山金进口 JEOL日本电子 EBG-300UA 直线型电子枪和电源

这是一种用于在真空中沉积或熔化金属和氧化物的高功率电子束源。它能够以极高的速率在连续移动的宽长薄膜或大面积玻璃基板上进行沉积。此外，它还用于电子束熔化，以生产和精炼高熔点金属锭。

特征
电子束可以高速扫描大面积区域。专用控制装置和软件能够创建各种不同的束流照射模式和区域。由于可以在每个照射位置设置扫描范围、停留时间、功率输出和束流形状，因此可以控制熔化表面和薄膜厚度分布。

目的
真空沉积
形成各种薄膜，例如阻隔膜、保护膜、电极膜、导电膜和磁性膜。

真空熔炼
钛、钽、铌、钼等高熔点金属的锭料生产和精炼；
用于太阳能电池的多晶硅精炼。

所属分类：
JEOL 日本电子
发布时间： 2026-07-03

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详细介绍

规格和选项

模型	EBG-300UA	JEBG-1000UB	JEBG-3000UB
最大输出	30kW （20kV，1.5A）	100kW （30kV，3.4A）	300kW （40kV，7.5A）
最大偏转角	±30°
扫描范围	X轴和Y轴
最大扫描频率	300赫兹	200赫兹	200Hz （300Hz：可选）
适用电源	ST-30BE2	JST-100C	JST-300CHR