特征
这是270°的电子束偏转。

它与JEBG-102UH0电子枪（180°偏转型）形状兼容，并且易于更换。

加速电压可在-4 kV至-8 kV范围内调节。无需将腔室与大气连通即可切换加速电压。

这显著减少了向基底散射的反向散射电子的数量，从而减少了对基底的损伤和薄膜的吸收。

与反射电子陷阱结合使用时，可以进一步减少反射电子的损伤。

与传统的电子枪相比，这种设计不太容易因内部压力快速增加而发生放电。

耗材组件采用上部更换机构，使耗材更换和清洁变得容易。

与传统耗材相比，该耗材的使用寿命已显著延长。

低压接线盒采用可安装在左侧或右侧的设计。

与 JEBG-102UH0 的形状兼容性

熔痕示例
电子束垂直照射沉积材料，形成近乎完美的圆形光斑，且具有高能量密度。
此外，该设备标配高速扫描功能，使其适用于在氧化物和高熔点、低导热系数的升华材料上进行沉积。
可获得良好的熔痕，并在大面积沉积区域内获得均匀且可重复的薄膜厚度分布。

点

样本 ZrO2
加速电压 -6千伏
发射电流 180毫安
照射时间 4分钟
扫描（XY扫描）

扫描（圆形扫描）




与背散射电子陷阱结合使用时，可减少背散射电子。
与传统电子枪相比，该系统显著减少了散射到衬底上的背散射电子数量。
当与背散射电子陷阱结合使用时，入射到衬底上的背散射电子数量可抑制90%以上。这
有助于减少对衬底的损伤和薄膜的吸收。

该图显示了在有无背散射电子俘获的情况下到达衬底的背散射电子的测量数量。
电子束（加速电压-6 kV，发射电流100 mA）照射到钨片上，并通过测量流经衬底圆顶的电流来获得背散射电子的数量。

相关链接
反射电子陷阱


丝状体寿命
我们使用了两种类型的耗材，并通过加速测试评估了它们的寿命。

Φ0.55 螺旋型（适用于 102）


Φ0.8 U 形（适用于 60060）


加速测试结果（灯丝断裂所需时间）

加速试验条件
测试设备 Φ1300 真空沉积机
薄膜沉积压力 采用 3.0 × 10⁻² Pa APC (O₂) 进行恒压控制。
电子枪输出 -6 kV 600 mA
气相沉积材料 钨
特别说明 在电子枪坩埚附近引入 O2 气体。
放电抑制结构
与传统电子枪相比，BS-60060DEBS / BS-60070DEBS 电子枪的结构设计使其不易因内部压力快速增加而发生放电。


压力 0.1 Pa
Ar：400 mL/min
输出 -8 kV，300 mA，
10 分钟
材料 氧化钽
电子枪电源 JST-16F
六点坩埚类型（可选）

BS-60070DEBS 电子枪
这是一个垂直极片式电子枪。

特征
（1）通过使用垂直杆件，提高了维护作业的便捷性
由于坩埚上没有极片，因此可以很容易地附着和移除环形沉积材料。

这样可以防止坩埚极片受到蒸汽污染而造成污染。

使用磁极盖可以轻松清洁，无需拆卸磁极。它还可以防止因拆卸磁极而导致光束位置发生变化。


（2）光束位置偏差预防结构
由于其结构能够抑制电子枪室内部极片的温度升高，因此与传统的垂直极片式电子枪相比，可以抑制光束失准。

环形炉底焊接痕迹（BS-60070DEBS）
线扫描