这是一款专为JST-F系列电源设计的扫描波形生成单元。

改善沉积材料的层压纹路可提高薄膜厚度分布的重复性。BS-64010SCT扫描控制器可生成各种调整后的扫描模式，从而实现对沉积材料层压纹路的调整。

特征
使用专用软件进行波形调整
使用随附软件可以轻松调整扫描波形。（需另行购买Windows 10电脑。）

您可以直观地调整光束光斑的停留时间。

可进行多种设置，包括扫描形式、峰值、位置、扫描频率和倾斜角度。

共有四种模式：XY 模式、圆形模式（圆周或螺旋线）、任意位置模式和直线模式。

利用扫描控制器改善熔痕

这是一个调整环形炉底焊缝的示例。
在左侧未经调整的扫描波形中，熔融石英环的内外周均有明显的腐蚀痕迹。
在右侧经扫描控制器优化后的波形中，没有明显的腐蚀区域，获得了平坦的焊缝。

可以通过软件界面配置各种设置。


1. 扫描表格
可以分别更改正面和背面的 Y 轴扫描宽度，这将生成梯形扫描图像。



示波器波形

2. 倾斜
当图像以弧形扫描时，这可以校正水平扫描误差。


3. X轴峰值
在 X 方向上对两端施加峰值，可以减少光束在两端的停留时间，从而使熔融表面变平。


示波器波形

4. 任意位置模式
光束可以指向多个任意点。每个点还可以配置XY扫描。
它还可以用于同时进行多点沉积。


5. 圆形模式
此模式以圆形或螺旋形图案进行扫描。
建议在沉积前溶解阶段使用扫描控制器的圆形模式。
对于使用圆形扫描进行薄膜沉积，建议使用 BS-720xxICE 电源附带的更高级的圆形扫描功能。


记忆
单个 BS-64010SCT 扫描控制器可以为两个电子枪生成波形。

每个电子枪最多可存储 15 种针对不同材料优化的扫描模式。

使用两支电子枪时，总共可以存储 30 种图案。

数据存储到扫描控制器的内部存储器后，即可将其与计算机断开连接。

您还可以将设置保存到您的电脑中。