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日本 Irie Koken入江工研 M-400J(S)-2(3) 圆形闸排气主阀

圆形闸阀“Marina”排气阀等。

过去三十年间，半导体市场的发展速度远超摩尔定律，小型化进程迅速从微米级迈向纳米级。

制造设备也通过持续的技术革新实现了小型化，而安装在其中的真空闸阀的性能也需要不断提升。

为了满足日益增长的市场需求，我公司正致力于不断改进产品的功能。

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圆形闸阀，码头排气阀

• 配备排气主阀
和压力消除机构
• 兼容 500A（开发版）

所属分类：
Irie Koken入江工研
发布时间： 2026-09-01

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详细介绍

标准规格

泄漏	主机：1 × ^10⁻¹⁰ [Pa·m³ ^/ s] 　　阀体：5 × ^10⁻¹⁰ [Pa·m³ ^/ s]（背压）
工作温度	主机：120 [℃] 执行器：60 [℃]
营业时间	3.0 至 5.0 [秒]
材料	阀体：AC4C-T6 ；波纹管：SUS316L（压力抵消）；阀板：铝；密封材料：FKM
工作压力	0.45 至 0.60 [兆帕]
寿命	100万次
选项	无压取消规范