| 模型 | ILD-70A | ILD-114A | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 型号以……结尾 | 50 | 100 | 150 | 50 | 100 | 150 | |
| 行程（毫米） | 50 | 100 | 150 | 50 | 100 | 150 | |
| 连接法兰 | CF70 | CF114 | |||||
| 驱动方式 | 电机驱动 | ||||||
| 泄漏 | 1× 10⁻¹⁰ Pa·m³ / s 或更低 | ||||||
| 烘焙温度 | - | ||||||
| 主要材料 | SUS304 | ||||||
| 波纹管材料 | SUS316L | ||||||
| 主要尺寸 | 一个 | * | 50-150 | 50-200 | * | 50-150 | 50-200 |
| B | * | 334 | 459 | * | 345 | 465 | |
| C | * | 96 | * | 101 | |||
| D | * | 152 | * | 165 | |||
| φE | * | 38 | * | 48 | |||
| φF(g6) | * | 12 | * | 16 | |||
| G | * | 20 | * | 35 | |||
| H | * | 7.0 | * | 12.5 | |||
| φI(h7) | * | 8 | * | 14 | |||
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| 模型 | ILD-152A | ILD-203A | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 型号以……结尾 | 100 | 150 | 200 | 100 | 150 | 200 | |
| 行程（毫米） | 100 | *150 | *200 | 100 | *150 | *200 | |
| 连接法兰 | CF152 | CF203 | |||||
| 驱动方式 | 电机驱动 | ||||||
| 泄漏 | 1× 10⁻¹⁰ Pa·m³ / s 或更低 | ||||||
| 烘焙温度 | - | ||||||
| 主要材料 | SUS304 | ||||||
| 波纹管材料 | SUS316L | ||||||
| 主要尺寸 | 一个 | 50-150 | * | * | 50-150 | * | * |
| B | 330 | * | * | 330 | * | * | |
| C | 107 | * | * | 107 | * | * | |
| D | 170 | * | * | 170 | * | * | |
| φE | 60 | * | * | 60 | * | * | |
| φF(g6) | 24 | * | * | 24 | * | * | |
| G | 35 | * | * | 35 | * | * | |
| H | 20.0 | * | * | 20.0 | * | * | |
| φI(h7) | 22 | * | * | 22 | * | * | |
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