工艺气体中包含的CO、CO₂ 、HF、NH₃ 、HCl和H₂O等分子具有吸收近红外激光的特性，这些分子的浓度可以通过其吸收强度来确定。由于该吸收带（波长）随分子种类而异，因此通过仔细选择待测分子的吸收波长，可以避免其他分子的干扰，从而测量气体浓度。中央单元内置的二极管激光器产生的近红外波长激光，经由混合光缆从发光传感器照射到工艺气体中，并由接收传感器的光电晶体管检测为电信号。检测到的电信号被转换回光信号，并通过环路光缆和混合光缆返回到中央单元。通过比较照射激光强度和接收激光强度，即可测量目标气体组分的浓度。中央单元内置一个包含目标成分的参考池，并利用该参考池进行持续的自校准。
　同时，二极管激光器的发射强度也受到监测，并持续进行二极管激光器的异常监测和零点校准。因此，LDS6无需使用标准气体进行校准。