ULTRAMAT6 配备有 6 层探测器和光耦合器，并采用基于分子特异性红外同步辐射波长吸收特性的交替红外吸收双光束照射方法进行测量。

由精确定位的单个红外光源（①）发出的红外光，经加热至约700℃后，被分束器（②）等分为样品光束和参考光束。该分束器内填充有气体，用于滤除降低测量精度的干扰波长，并起到滤光片的作用。参考光束穿过填充有红外惰性气体的参考池（③），到达检测单元（④），且在参考池内几乎不被吸收。样品光束在穿过样品池（⑤）时被样品气体吸收，在到达左侧的检测单元（⑥）之前发生衰减。检测单元采用双层结构，填充有与样品气体相同类型且浓度合适的气体。微流量传感器（⑦）位于上下两层之间，用于测量由于上下两层红外吸收差异引起的气体膨胀压力差，从而计算流量。光耦合器（⑧）用于在光学上延长检测单元下层的长度。此外，通过调节滑块 (⑨) 的位置，可以对下层红外吸收量进行光学校正。这些机制有助于最大限度地减少干涉成分的影响。