倾斜式光栅是一类特殊设计的衍射光栅，目前主流的分类维度和对应类型如下：

按基底与涂层特性分类
‌标准基底倾斜光栅‌：以光学玻璃为基础载体，无额外特殊涂层，适配常规分光、基础光学实验场景，成本适中。
‌介质涂层倾斜光栅‌：在光栅表面镀制多层介质膜，大幅提升目标波段的衍射效率，降低偏振相关损耗，多用于高精度光谱分析系统。
‌金属涂层倾斜光栅‌：表面镀铝、金等金属反射层，在红外、太赫兹波段表现出优异的反射性能，适配长波红外光学系统。
‌抗反射（AR）涂层倾斜光栅‌：在光栅非工作面镀制增透膜，减少杂散光干扰，提升系统整体信噪比，常用于精密检测光路。
按加工工艺分类
‌全息光刻倾斜光栅‌：通过全息干涉曝光工艺制作，刻线均匀性好、杂散光极低，无鬼线问题，是高端光谱仪器的主流选型。
‌机械刻划倾斜光栅‌：采用金刚石刀具直接刻制光栅槽型，可灵活定制特殊闪耀角度，在大功率激光系统中应用广泛。
‌二元结构倾斜光栅‌：采用半导体微纳加工工艺制备，槽型为精准的矩形二元结构，衍射效率可控性强，适配AR/VR衍射波导场景。