干式真空泵是泵腔内完全无油润滑、依靠机械结构直接压缩气体实现抽气的无油真空设备，核心可按‌转子结构原理、性能定位、适配场景‌三大维度分类，是半导体、化工、制药等高洁净度要求领域的主流真空设备。

按核心转子结构分类
‌干式螺杆真空泵‌：依靠一对同步反向旋转的螺杆转子，通过齿间容积变化完成吸气-压缩-排气循环，变螺距设计相比等螺距机型可节能30%，极限真空可达0.1Pa量级，能处理大量水蒸气和少量粉尘气体，是半导体CVD、干法刻蚀工艺的主流选型。代表型号如阿特拉斯DHS 065-200VSD+，搭载变频调节功能，支持三段递进式吹扫，低热负荷易维护。
‌爪式干式真空泵‌：采用多级串联的爪型转子结构，转子间、转子与泵腔间无接触无摩擦，无需任何润滑剂，大流量处理能力突出，可直接抽取含微尘的工艺气体，多用于半导体刻蚀、离子注入设备的前级抽气场景。部分进口机型采用镍磷或特氟龙防腐涂层，适配腐蚀性介质处理需求。
‌干式涡旋真空泵‌：由静涡旋盘和动涡旋盘配合运动，形成周期性变化的新月形真空腔完成抽气，结构紧凑、运行噪音低，能效比优于部分螺杆机型，仅适配洁净无粉尘、无液滴的气体场景，多用于分析仪器、小型精密镀膜设备的配套前级泵。代表型号如ULVAC爱发科隔膜干式真空泵，运行噪音低至61dB，整机轻量化设计，适配实验室场景。
‌罗茨式干式真空泵‌：依靠两个“8”字形反向同步旋转的转子，通过泵腔容积周期性变化实现抽气，大流量抽气优势显著，无法直接从大气压启动，必须搭配前级泵使用，多用于高密度等离子体刻蚀、大尺寸CVD设备的粗抽阶段，大幅提升抽气效率。
‌无油往复/旋片干式真空泵‌：前者依靠活塞往复运动改变泵腔容积完成抽气，结构与无油活塞压缩机类似；后者采用石墨旋片，依靠离心力保证旋片与泵壳紧密接触实现密封，两类机型结构简单、成本低，多用于小型工业脱泡、实验室基础真空场景。
按性能定位分类
‌基础通用型干式真空泵‌：抽速覆盖5~50m³/h，极限真空1~10Pa，无特殊防腐配置，适配普通工业真空包装、物料干燥等常规无特殊腐蚀性的洁净场景，性价比高，市面主流国产机型多属于此类。
‌精密半导体级干式真空泵‌：抽速覆盖50~1300m³/h，极限真空可达0.1Pa，整机全气路采用哈氏合金+PTFE双层防腐涂层，搭载智能振动与温度监测模块，官方标定免维护周期长达6年，专为晶圆制造、先进封装等高端半导体工艺设计，可稳定处理CF₄、Cl₂等强腐蚀性工艺气体。
‌组合式干泵机组‌：将罗茨转子与爪式/螺杆转子集成在同一泵体内，兼顾大流量快速抽气和高极限真空的双重优势，是当前半导体产线的主流配置，相比单泵抽气效率提升40%以上。
按适配场景分类
‌半导体/光伏专用干式真空泵‌：全机无油零污染，可24小时连续稳定运行，适配晶圆刻蚀、PVD/CVD沉积、光伏电池片制造等核心工艺，是当前高端干式真空泵的最大应用领域，占据全球干泵市场60%以上份额。
‌化工/制药专用干式真空泵‌：整机气路做全防腐处理，可直接抽取腐蚀性、有毒、含粉尘的工艺气体，避免传统油泵油液被污染变质的问题，适配化工蒸馏、制药溶剂回收等复杂工况。
‌实验室/分析仪器专用干式真空泵‌：体积小巧、运行噪音低于65dB，振动幅度极低，完全无油污染，适配质谱仪、电子显微镜等精密分析仪器的配套真空需求。